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    涂硼專用設(shè)備由冷藏柜、通風(fēng)柜和涂硼工裝組成,用于堆用探測器的表面涂硼,設(shè)備滿足涂硼化學(xué)試劑的存儲,同時滿足涂硼過程中化學(xué)試劑揮發(fā)的排放需求,設(shè)備可以實現(xiàn)涂硼溶液的自動配置和涂硼時間的自動控制。
    涂硼專用設(shè)備特點:
    涂硼工裝的通用性強,可以滿足堆用探測器不同尺寸的工件需求。
    設(shè)備具有重要工藝過程參數(shù)的自動采集、記錄、存儲、輸出的功能。